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SpectraFx 200是什么?
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2008-01-07 A-Tencor推出Aleris 8500薄膜度量系统助力45nm以下芯片制造
KLA-Tencor推出Aleris系列薄膜度量系统,该系列从Aleris 8500开始,是业界第一套将可用于生产的成份与多层薄膜厚度测定结合在一起的系统。
2008-01-05 A-Tencor最新Aleris 8500薄膜度量系统助力45nm以下芯片制造
KLA-Tencor推出Aleris系列薄膜度量系统,该系列从Aleris 8500开始,是业界第一套将可用于生产的成份与多层薄膜厚度测定结合在一起的系统。
2007-12-29 A-Tencor新推出Aleris 8500薄膜度量系统
KLA-Tencor推出Aleris系列薄膜度量系统,该系列从Aleris 8500开始,是业界第一套将可用于生产的成份与多层薄膜厚度测定结合在一起的系统。
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