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Kyma授权GT使用等离子体汽相淀积技术

上网日期: 2014年03月07日 ?? 我来评论 字号:放大 | 缩小 分享到:sina weibo tencent weibo tencent weibo


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关键字:发光二极管? 氮化镓技术?

GT Advanced Technologies宣布已经向Kyma Technologies, Inc.收购其等离子体汽相淀积(PVD)技术及专门知识的独家使用权。Kyma所开发的等离子体汽相淀积柱状纳米技术(PVDNC(TM))可以在氮化镓沉淀前,在晶圆上沉积一层高质量的生长型初始层氮化铝。GT 计划将等离子体汽相淀积工具商业化,以配合其正在研发的氢化物气相外延(HVPE)系统,这个组合将可以让LED生产商在图案化或平面晶圆上,用更低的成本生产更高产量的氮化镓模板。GT已经有一个可以用于大量生产的原型工具,结合Kyma的等离子体汽相淀积柱状纳米技术,预期到2015年上半年可提供量产工具。

GT的总裁兼首席执行官Tom Gutierrez 表示:“Kyma创新的“柱状纳米”PVDNC技术为我们不断扩张的LED生产基地带来了重要的补充。我们的目标是提供一系列的解决方案,以提升LED生产的质量及降低成本。将GT的PVD AlN工具与我们正在研发的HVPE系统相结合,预计可让LED生产商以比现行生产技术更低的成本生产出开盒即用晶圆。”

Kyma的总裁兼首席执行官Keith Evans表示:“我们非常高兴GT决定将我们的等离子体汽相淀积柱状纳米技术商业化。经过多年创新及生产AIN模板,我们深信柱状纳米AlN 薄膜将为LED行业带来实实在在的好处。”

今天,将氮化镓沉积在开盒即用的晶圆时,需要使用较为昂贵而且进程缓慢的MOCVD工具。通过结合PVD与HVPE这两个流程,将可以生产低成本的氮化镓模板,厂商将能够利用现有的LED生产线扩产;另外,由于他们需要的MOCVD 工具更少,此举也可以降低其资本开支。







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