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A-Tencor新推出Aleris 8500薄膜度量系统

上网日期: 2007年12月29日 ?? 我来评论 字号:放大 | 缩小 分享到:sina weibo tencent weibo tencent weibo


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关键字:Aleris 8500? SpectraFx 200? CoO解决方案?

KLA-Tencor推出Aleris系列薄膜度量系统,该系列从Aleris 8500开始,是业界第一套将可用于生产的成份与多层薄膜厚度测定结合在一起的系统。其它Aleris系列系统将在未来数月内以不同配置推出,以满足45nm节点及以下尺寸所有薄膜应用的性能与CoO要求。

迄今为止,芯片制造商一向是购买单独的分析与传统光学厚度测量工具来提供厚度与成份测定。这种混搭方法意味着要忍受拙劣的工具与工具搭配、困难的容量备份及不兼容的方法等各种低效率作法。Aleris 将所有可用的先进关键薄膜度量应用集中到单独一个平台上,从而帮助芯片制造商提高所有权成本,并加快了获得结果的速度。Aleris 8500可提供比现有分析方法高出3倍的产能,且其非真空光学技术克服了传统分析工具的可靠性限制。这些完善的生产优势让Aleris 8500成为成份控制的最佳CoO解决方案。

Aleris 8500系统以该公司领先业界的SpectraFx 200技术为基础,主要采用下一代宽带光谱椭圆偏光法(Broadband Spectroscopic Ellipsometry,BBSE)光学元件,在精密度、匹配度及稳定性等方面匀有显著改善。此技术让芯片制造商能够检验和监测先进的薄膜,包括新型材料、结构与设计基底。该系??特的 150nm BBSE 可为成份测定提供更好的灵敏度,使Aleris 8500成为业界第一款可用于产品晶片上的关键门控应用之生产监测的单一工具解决方案。Aleris的StressMapper模块能够以更高的产能提供更高的空间分辨率,可用于高应力薄膜中2D应力的生产监测。

Aleris 8500系统已经运抵若干重要客户,正用于65nm门控生产及45nm/32nm开发。

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