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专注原子层沉积技术开发终获回报,Aviza订单纷至沓来赚得满钵金

上网日期: 2007年12月06日 ?? 我来评论 字号:放大 | 缩小 分享到:sina weibo tencent weibo tencent weibo


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关键字:原子层沉积? ALD? 高K栅极介质?

Aviza Technology Inc.已在增强其在原子层沉积ALD)工具市场领域的成果。Aviza就它的ALD系统的Celsior fxP生产线宣布了一项新的订单,下订单是一个日本逻辑芯片制造商,但未透露是哪个制造商。这是个里程碑,因为它标志着Aviza在ALD技术上首先进入了逻辑领域。

该工具将用于45纳米及更小结点逻辑上的研究和高K栅极介质和金属电极薄膜的开发。Aviza 的ALD工具大部分应用于存储单元,包括DRAM和flash.据报道该公司装配为中国晶圆代工厂SMIN装配了ALD工具。

最近 Aviza宣布了其公司加入一个联合发展计划,参与该计划的还有台湾地区的Mosel Vitelic Corp. 公司。Aviza 和 Mosel将为下一代的flash应用联合开发ALD材料。

Aviza 最近同时宣布了其得到了SVTC Technologies,一家美国的晶圆厂的一份订单,该订单涉及Celsior单晶圆ALD系统。SVTC为那些要求超薄高K栅极介质和金属电极薄膜flash,非易失性存储和高压应用的客户装备在ALD技术上的能力。






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