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一种用于压缩掩膜数据文件的工具

上网日期: 2006年12月01日 ?? 作者: 麦戴伦 ?? 我来评论 字号:放大 | 缩小 分享到:sina weibo tencent weibo tencent weibo


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关键字:掩膜? 光刻? 文件压缩? SoftJin?

由日益增加的IC设计复杂性而带来的巨大挑战之一就是文件数据量的爆炸式增长。根据2005国际半导体技术发展路线图的预测,到IC设计工艺将达到45nm节点的2010年,单层的掩膜数据量可能达到825GB。

为了帮助掩膜制造商处理大量数据的问题,EDA软件开发服务商SoftJin技术公司最近推出一种软件产品,该产品利用通过Mebes格式可以将掩膜文件压缩5%-15%,从而减少文件所占用的空间和相关数据转发次数。

据SoftJin(位于印度班加罗尔)公司称,该产品名为Mebeszip,用Mebes格式将掩膜数据转换成一种压缩过的二进制格式,这种格式可被解压缩,并恢复成与原文件逐位匹配的Mebes文件。相对于掩膜文件常用的普通的文件压缩程序gzip,Mebeszip的数据压缩率提高了2到8倍(平均为4倍)。另外,Mebeszip也支持选择性的解压缩,从而不需要每次都对整个文件进行解压。

Mebes是应用材料公司(Applied Materials Inc.)已获得专利的一种掩膜数据格式,它已成为用于交换掩膜数据的事实上的业界标准。使用GDSII或Oasis(开放原图系统互换标准)数据格式的设计版图文件,可以转换成Oasis格式进行传输。

Mebes格式的文件通常比GDSII或Oasis格式的文件的数据量要大,这是由于增加了分辨率增强技术(RET)这一功能以及需要向电子束(e-beam)光掩膜的各种模式生成工具提供具有很少层次关联的、实际上还是平面文件的数据(flat data)。

据SoftJin公司称,Mebeszip也提供一种可选的内置检验器,盖检验器可提供现场验证来检查压缩文件的保真度。在Mebeszip中采用基于CRC-32校验和及基于MD-5指纹的方案,来验证数据的完整性。该技术还提供内置的数据加解密措施,以增强压缩数据在传输过程中的安全性。

作为典型的构建模块方法,SoftJin公司提供的Mebeszip既可作为单一工具,也可以作为能够被置入到其它工具中的目标代码,SoftJin公司的执行顾问Kumar Venkatramani说,该技术还可以用作为EDA工具的一个组成部分,如掩膜数据准备、RET、制造规则检查、掩膜数据阅读器和淹没检查工具,利用Mebeszip提供的应用程序接口来生成或使用Mebes掩膜数据。

目前已经可以提供Mebeszip,SoftJin公司提供一个月的免费试用,但是,包括价格等更详细的信息还没有提供。

SoftJin公司还提供其它产品,均可以提供目标代码格式,作为构建模块提供给那些正在创建内部或商用EDA工具的公司,其中包括已在2005年9月推出的GDSIIzip,该工具专门用于GDSII文件的压缩。

作者:麦戴伦






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