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NST微型陶瓷电机可自动进行真空校准

上网日期: 2005年01月12日 ?? 我来评论 字号:放大 | 缩小 分享到:sina weibo tencent weibo tencent weibo


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关键字:new scale technologies? squiggle? motor? 电机?

New Scale Technologies (NST)公司推出一种新型真空微型陶瓷Squiggle电机——SQ-2000C,可以自动进行真空装置的临界校准操作,无需机械馈通或步进电机。这款新型电机可用于各种产品的纳米级定位,如半导体制造和测试、电子扫描镜、离子束显微镜及扫描离子分光镜。

SQ-2000C电机提供与标准SQ-2000型一致的性能,但它集成了真空材料及相应的设计。这种Squiggle电机采用了压电陶瓷材料,使螺母产生震动,直接驱动匹配的螺杆。这种独特的设计可使分辨率达到20nm,单次运动达几十毫米,运转无噪声,速度可达1至2μm/s。

该电机外形仅为20(L)×10(φ)mm,精度达到纳米级,零磁场,具有超低除气和加热功能。活动范围为50mm,力度可达5N。

SQ-2000C的真空压力低至10-7 Torr。客户也可定制真空电气馈通。电机和控制器的售价为1,475美元(仅供参考)。供货期为两至四周。







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